化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说,它是很简单的:两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,形成一种新的材料,沉积到晶片表面上。淀积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子,它是由硅烷和氮反应形成的。那么,成核的经典理论有哪些呢?金刚钻成核有哪些特征?

沈仲鑫

沈仲鑫,美国著名的光纤激光器专家。中科院研究生院兼职教授,且同时在美国旧金山能量技术公司和Penrson Assessment and information公司工作,曾任上海电器厂军品生产技术协调员,助理工程师,同济大学讲师;美国加州大学访问学者、加拿大哥伦比亚大学访问教授。曾在加州大学物理系讲授光学六年。

推荐课程 换一换

相关课程

暂无相关课程